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该专利摘要显示✿★★：本实用新型公开了一种磁控溅射旋转阴极结构jdb电子送金✿★★，所述结构包括结构主体✿★★，所述结构主体包括工艺气路jdb电子送金✿★★，工艺气路包括主气管和多段辅助气管分段调节洛克王国刷绝版宠物挂✿★★，所述结构主体还包括端头护罩✿★★、上端支撑护罩✿★★、靶材卡箍护罩✿★★，本方案采用分段布气✿★★，采用主气管和多段辅助气管分段调节jdb电子送金✿★★，主气管量程1000sccm✿★★，通入50‑300sccm氩气✿★★，50‑300sccm氧气✿★★，通过质量流量计混合后进入真空箱体阴极靶位处✿★★，七段辅助气管通入氩气✿★★、氧气有效改善均匀性✿★★，辅助气管量程100sccm✿★★，通入0‑50sccm氩气✿★★、0‑50sccm氧气✿★★，依据测试均匀性结果分别调整通入气体量✿★★，有效改善均匀性✿★★。
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